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                                真空镀膜电源

    THREETIMES公司的真空镀膜电源设备采用了具有先进水平的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术.独有的增强型灭弧管理系统
及过程补偿技术和完善的防护技术,系专门为真空镀膜应用领域设计的高品质、高技术产品。

   真空镀膜电源设备的电源看上去都个头小,重量轻,然当用上后,您会发现在这小设备里有足够强大的功率输出,方便实用的
使用功能和极高的可靠性,完全能满足您的要求。

                       

主要产品系列:

SW-DC系列逆变偏压电源

SW-DC系列逆变偏压电源

  主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。主要作用包括:被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。是传统直流偏压电源的更新换代产品。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。

主要特点

采用了先进的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术及其防护专利技术,具有体积小、重量轻、效率高、功能多、、操作容易运行
  稳定 噪声低、电网干扰小、可靠性高等显著显著优点,在节能和镀膜工艺的稳定性上具有明显的优势
具备恒压 、恒流控制及恒功率控制(可选)功能, 先进的软启动和短路自动限流限压功能, 极强的抗网压干扰能力,宽电压工作范
  围,可在电网电压和负载波动情况下,保证电源高效稳定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性。精确控制膜厚和减少靶材用量。
针对实际工作时存在的频繁打火现象,内部增加了独有的增强型灭弧管理系统 ,准确控制灭弧过程.能在频繁打火时充分保护电
  源及生产工件不被损坏,并且能连续稳定地工作。
独有的过程补偿技术,精确控制膜厚。
电流 、电压、灭弧电平数字显示/触摸屏控制和显示
具有过流、过压、过热 、欠水多项保护功能、可靠性极高
面板或触摸屏控制
RS232接口、RS485总线接口、Modbus、Profibus协议。
隔离模拟量控制接口,可与PLC及计算机远程控制连接

型号 SW-DC10 SW-DC20 SW-DC30 SW-DC40 SW-DC60
输入 AC380V±10%;50-60HZ
输出电压 达1000V
输出电流 达10A 达20A 达30A 达40A 达60A
接口类型

modbus,profibus协议
RS485,RS232
标准隔离模拟量控制接口

安装方式 482mm(19英寸),深度700mm
冷却方式 风冷 风冷 水冷 水冷 水冷

SW-VD逆变磁控溅射电源

SW-VD逆变磁控溅射电源

  主要用于平衡和非平衡磁控溅射靶的直流磁控溅射、单极性脉冲磁控溅射、中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射,是传统磁控溅射电源的更新换代产品。

主要特点

采用了先进的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术和全密封水冷及其防护专利技术,具有体积小、重量轻、效率高、功能多、
  操作容易运行稳定、噪声低、电网干扰小、可靠性高等显著显著优点,在节能和镀膜工艺的稳定性上具有明显的优势
具备恒压 、恒流控制及恒功率控制升级功能, 先进的软启动和短路自动限流限压功能, 极强的抗网压干扰能力,宽电压工作
  范围可在电网电压和负载波动情况下,保证电源高效稳定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性。精确控制膜厚和减少靶材用量。
针对新靶清洗时存在的存在的频繁打火现象,增加了增强型灭弧电路,灭弧电平无级调节控制及数字显示功能,准确控制灭弧过
  程.能在频繁打火时充分保护电源及靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度
具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
电流 、电压、灭弧电平数字显示主要参数均可大范围连续调节。
具有过流、过压、过热 、欠水多项保护功能、可靠性极
内置远程隔离控制接口,可与PLC及计算机远程控制连接
可选配RS232接口、RS485总线接口、Modbus、Profibus、工业以太网等

主要规格

型号 SW-VC10 SW-VC20 SW-VC30 SW-VC40 SW-VC60
输入 AC380V±10%;50-60HZ
输出电压 达1000V
输出电流 达10A 达20A 达30A 达40A 达60A
接口类型

modbus,profibus协议
RS485,RS232
标准隔离模拟量控制接口

安装方式 482mm(19英寸)  ,深度700mm
冷却方式 风冷 风冷 水冷 水冷 水冷
显示和控制 触摸屏 / 数字表面板

SW-MF中频孪生靶磁控溅射电源

SW-MF中频孪生靶磁控溅射电源

  主要用于中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射以及PECVD和ETCH设备中,它们是传统磁控溅射电源的更新换代产品。

主要特点

采用了先进的谐振高频大功率IGBT软开关电源技术及其防护专利技术,具有体积小、重量轻、效率高、功能多、操作容易运行稳定、噪声低、电网干扰小、可靠性高等显著显著优点,在节能和镀膜工艺的稳定性上具有明显的优势
具备恒压 、恒流控制及恒功率控制升级功能, 先进的软启动和短路自动限流限压功能, 极强的抗网压干扰能力,宽电压工作范围可在
  电网电压和负载波动情况下,保证电源高效稳定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性。精确控制膜厚和减少靶材用量。
中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射,波形正负变化频率可在20-100KHZ(根据工艺选定),有效防止靶”中毒       提高生产率.
针对新靶清洗时存在的存在的频繁打火现象,增加了增强型灭弧电路,灭弧电平无级调节控制及数字显示功能,准确控制灭弧过程.
  能在频繁打火时充分保护电源及靶面工艺的稳定性.
具有增强型起”辉”设置,,可充分满足中频磁控溅射的特殊要求。
电流 、电压、数字显示,主要参数均可大范围连续调节
具有过流、过压、过热 、欠水多项保护功能、可靠性极高
内置远程隔离控制接口,与PLC及计算机远程控制连接  
可选配RS232接口、RS485总线接口、Modbus、Profibus、工业以太网等

型号

SW-MF10

SW-MF15

SW-MF20 SW-MF30 SW-MF40 SW-MF60
安装尺寸

482mm(19英寸)机箱结构,深度700mm

串口 RS232,RS485,modbus协议,Profibus协议
标准接口 12PIN,可配置隔离0-10V等标准输入输出
显示和控制 触摸屏 OR 数字表
输入电压 AC380V±10%;50-60HZ
最大输出功率 10KW 15KW 20KW 30KW 40KW 60KW
输出频率 40-100KHZ
最大输出电压 达1000V
最大输出电流 10A 15A 20A 30A 40A 60A
冷却 风冷 风冷 风冷 风冷 水冷 水冷
工作环境温度 Max. 50C

其他可提供的电源:
脉冲磁控溅射电源、脉冲偏压电源、离子源电源,蒸发源电源等,
可按用户要求定制

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